El 21264 implementaba el conjunto de instrucciones Alpha (ISA, "instruction set architecture").
Cada cola podía suministrar tantas instrucciones como unidades de ejecución.
Los racimos eran casi idénticos excepto por dos diferencias: el U1 tenía un unidad multiplicadora de siete ciclos mientras que el U0 tenía la unidad de tres ciclos para ejecutar las "Motion Video Instructions" (MVI), una extensión de la Arquitectura Alpha definiendo instrucciones "single instruction multiple data" (SIMD) para multimedia.
Las unidades no eran idénticas, una ejecutaba la mayoría de las instrucciones y la otra solo las multiplicaciones.
El Alpha 21264 tenía dos niveles de caché, una primaria y una secundaria.
También evita duplicar la caché, de modo que hay dos, como en el Alpha 21164.
Duplicar la caché restringe la capacidad de la misma, ya que requiere más transistores para obtener la misma capacidad, y requiere un área y un consumo de energía mayores.
La caché secundaria, llamada caché-B, es externa con una capacidad de 1 a 16 MB.
El valor del contador determina si el salto actual debe hacerse o no.
El valor del contador determina si se usa el predictor local o el global.
El Alpha 21264 posee un encapsulado cerámico PGA intersticial (IPGA) de 587 pines.
Esto nunca se materializó, ya que AMD optó por utilizar el Slot A para sus Athlons.
El EV67 fue el primer microprocesador Alpha en implementar la extensión del contador (count extension, CIX), el cual amplía el juego de instrucciones para calcular el peso de Hamming.
Tenía una matriz de 125 mm², un tercio más pequeña que la del Alpha 21264A, y era alimentado con 1,7 V.
Estuvo disponible a comienzos del año 2000 y alcanzó una velocidad máxima de 1,25 GHz.
Tenía un encapsulado flip-chip ceramic land grid array (CLGA) midiendo 49,53 por 49,53 mm.
[4] El Alpha 21264D, nombre en código EV68CD es un derivado más rápido fabricado por IBM.
Iba a ser fabricado en un proceso CMOS con 0,18 micrones con interconexiones de cobre.
Tanto Digital como Advanced Micro Devices (AMD) desarrollaron chipsets para el Alpha 21264.
El Digital 21272, también conocido como Tsunami y Typhoon, fue el primer chipset para el Alpha 21264.
El chipset consistía de tres dispositivos, un chip-C, un chip-D y un chip-P.
El chip-P es un controlador PCI, implementando un bus PCI-X de 33 MHz.