Stepper

Después de la exposición en el stepper, la oblea recubierta se desarrolla como una película fotográfica, lo cual hace que el material fotosensible se disuelva en determinadas zonas según la cantidad de luz que las zonas han recibido durante la exposición.

La oblea desarrollada es entonces expuesta a ácidos u otras sustancias químicas.

Se utilizan otros productos químicos para cambiar las características eléctricas del silicio en las áreas desnudas.

Entonces la oblea es limpiada y recubierta con resina fotosensible, a continuación se pasa a través del stepper de nuevo en un proceso que crea el circuito sobre el silicio, capa por capa.

El proceso entero es llamado fotolitografía o ingeniería de foto.

La cámara también contiene otros sistemas que permiten el proceso, como aire acondicionado, fuentes de alimentación, tableros de control por los diversos componentes eléctricos y otros.

Aunque la oblea es alineada una vez es colocada sobre la etapa de oblea, esta alineación no es suficiente para asegurar que la capa de circuito que se imprimirá sobre la oblea se superponga exactamente a las capas anteriores que ya están allí.

La superficie desarrollada es entonces sometida a otros procesos de fotolitografía.