Trifluoruro de nitrógeno
Este compuesto de nitrógeno y flúor, es un gas incoloro, tóxico, inflamable e inodoro.
Esto resultó ser mucho menos reactivo que el tricloruro de nitrógeno.
EL NF3 se disocia más fácilmente en una descarga a baja presión que los compuestos perfluorados (PFC) y el hexafluoruro de azufre (SF6).
Como agente de limpieza y grabado que se consume algo más, el NF3 también se ha promocionado como sustituto preferible desde el punto de vista medioambiental del SF6 o PFC como el hexafluoroetano.
Los modernos sistemas de reducción pueden disminuir sustancialmente las emisiones atmosféricas.
En estos casos, también se prefiere al gas flúor debido a sus propiedades de manipulación más cómodas.
Aunque el NF3 tiene un alto GWP, durante mucho tiempo se ha supuesto que su forzamiento radiativo en la atmósfera terrestre es pequeño, presumiendo que sólo se liberan pequeñas cantidades a la atmósfera.
Las aplicaciones industriales del NF3 lo descomponen de forma rutinaria, mientras que en el pasado los compuestos regulados utilizados anteriormente, como el SF6 y los PFC.
Se prevé que la producción mundial de NF3 alcance las 8.000 toneladas anuales en 2010.
El contacto de la piel con el NF3 no es peligroso, ya que es un irritante relativamente menor para las membranas mucosas y los ojos.
