La mayoría de procesos de plasma industriales se producen por descarga luminosa a presiones inferiores a 10 Torr (glow discharges).
Desde hace tiempo se confirma que la posibilidad de generar plasmas a presión atmosférica y con aire ambiente aumenta significativamente su aplicabilidad en la industria.
Se forma plasma en equilibrio térmico, donde la temperatura de los átomos, moléculas e iones es relativamente homogénea y puede rápidamente superar varios miles de kelvin.
Plasma en desequilibrio termodinámico (plasma frío) puede ser generado en condiciones atmosféricas con altas frecuencias o utilizando microdescargas de corta duración creadas por la ruptura dieléctrica (Descarga parcial) producida entre dos electrodos separados por una barrera aislante dieléctrica.
La llamada "descarga fría" o descarga de la barrera dieléctrica (DBD) se utiliza en muchas aplicaciones en las que se debe evitar altas temperaturas.
El oscilante potencial superficial puede generar la excitación y la ionización de los átomos y las moléculas provocando la generación de plasma por descarga piezoeléctrica directa (PDD).
[6] El uso industrial más común de los plasma jets basados en la PDD es la activación superficial (surface activation), que optimiza la humectabilidad y las propiedades de adhesión del material.